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정전용량센서 이미지 2 
정전용량센서 이미지 
Tilting측정 예시 
Stage의 직진도 측정 예시 
스핀들 Shaft의 Run-out측정 예시 
정밀 스테이지의 위치제어 적용예시 
자동초점조정용 Feedback 예시 
재료의 평탄도 측정예시 
Faxt Tool Servo